Работа с сухим плёночным фоторезистом
ЮХа: А разве она может быть на ПП от плотно приложенной маски?
Плотность прилегания - понятие тоже относительное, при нанотехнологиях - то. 
Согласен.
Но на кухне разговаривать о "нано" смешно. Если собеседники трезвые, конечно.
Я предлагаю ищущим точечные источники света проделать простой эксперимент: создать тень от иголки при освещении любым источником света. Просто приближайте иголку к поверхности и наблюдайте за тенью.
Далее оставляем иголку на одном расстоянии от поверхности, а двигаем источник вверх - вниз.
И последнее - двигаем источник по горизонтали, при условии неплотного прилегания иглы к поверхности.
Собственно, простая геометрия.
Надеюсь, что эта простая геометрия приведёт вас к мысли, что для чёткого воспроизведения плоского протяжённого фотошаблона необходимо иметь бесчисленное множество точечных источников света - т.е. рассеяный свет
ЮХа, точечный источник и рассеяный свет это небоо и земля в отношении к контраста(рассеяный свет не в пользу контраста). Кроме того рассеяный свет - это клондайк паразитных засветок, как мне каежтся(фотографией занимался почти профессионально и экпонометр "Ленинград" храню как память .
У меня возникла кромольная мысль вместо пакетов с водой снять защитную пленку с фоторезитса и прикатать вмесо нее пленку шаблона... Правда фоторезист кончился. Как куплю - обязательно попробую!
ЮХа: Надеюсь, что эта простая геометрия приведёт вас к мысли, что для чёткого воспроизведения плоского протяжённого фотошаблона необходимо иметь бесчисленное множество точечных источников света - т.е. рассеяный свет
Все с точностью до наоборот. Четкие контуры теней дает только точечный источник. ЮХа, вы же классный фотограф, не понимаю, о чем вы...?
Плюсы рассеянного света только в том, что он дает более равномерную засветку по площади платы.
ivasi: вместо пакетов с водой снять защитную пленку с фоторезитса и прикатать вмесо нее пленку шаблона...
Ну, прилипнет она. Как отдирать будете? Вместе с фоторезистом?
Nnick: Есть такая лампочка ! Зовется она ДРШ-100
Уж больно с ней работать страшно! Или нет? Есть опыт?
Очевидно, никто мой эксперимент на повторил. 
Успехов!
ЮХа: Очевидно, никто мой эксперимент на повторил.
Я повторил, и как всегда, опять не понял вашу загадку. Какой вывод надо сделать из сего эксперимента? Ну, тень двигается в зависимости от положения источника света. Эту геометрию вы имеете ввиду? И что? Тень то присутствует, в отличии от полного отсутствия оной при рассеяном свете. При одном и том же расстоянии шаблона от фоторезиста, лучше небольшое смещение зазора между дорожками (зависит от угла падения света), чем полное отсутствие зазора между ними.
ivasi: решил сделать УФ панель на сверхярких светодиодах
Вам деньги девать некуда? Высылайте мне, пригодятся.
ivasi: но равномерность засветки должна быть получше чем у лампы
Сколько уж я этих плат переделал, но никогда не страдал из-за неравномерности засветки. Свечу "черной" энергосберегайкой с расстояния 0.5м. Выдержка 15 мин. Размер плат - не более 150мм. Прикиньте, любопытства ради, какая будет неравномерность? Да практически неощутимая! Еще раз хочу подчеркнуть, для точного воспроизведения тонких линий и зазоров между ними, желательно, помимо всего прочего, чтобы источник света был контрастным, т. е. точечным, а не рассеяным. Учтите, что между фотошаблоном и фоторезистом находится еще защитная пленка далеко не нулевой толщины. Так что, как ни прижимай, зазор остается, и при рассеяном освещении всегда будет "подсвет" с боков, что приведет к "утоньшению" тени и искажению реальной ширины. Вопрос только в величине этого "утоньшения". Дело еще в том, что при травлении плат существует еще такая штука, как подтрав, который особенно сильно сказывается при медленном травлении (слабый, холодный, истощенный раствор) и плохом перемешивании. В какой-то степени, при негативном фоторезисте он может скомпенсировать вышесказанное.