Свежие обсуждения
Прочее

Очередной девайс редкой породы

1 2

Нашел в zakroma of roduna очередной агрегат малопонятного назначения.

Размер по металлическому бруску 84х34х30 мм, общий с фланцами 117,5х75,5х34 мм. Вес - с полкило.
Стоял в установке для травления кремниевых пластин. К фланцам подходили фторопластовые трубки, закреплнные фторопластовыми гайками.

Фото вид сбоку :

Еще сбоку :

На крышке есть плохоразличимая стрелка указывающая направление (направлена в сторону разъема)

С торца :

Если заглянуть в один патрубок - то через редкую металлическую сетку можно видеть, что отверстие от патрубка к патрубку - сквозное.

Без крышки:

Металлическая крышка приклеена от дущи - при соизмеримых усилиях оторвать не вышло.
Я предпологаю что это ДатчикРасходаГаза. Но вот вопрос - любого газа или особого, как его подключить ? Из 4х контактов разъема один провод подключен к корпусу, а 3 других уходят куда-то под внутренний металлический колпак.

 

Газовый клапан.

 

Раз написано преобразователь, то однозначно не клапан, а именно преобразователь Датчика Расхода Газа (ДРГ), выдаюший какую-то нормированную величину.

 

Дык там внизу шильдика ясно написано М^3/C - кубометров в секунду и точность 8.33 x 10^-6.

 

Вопрос стоит более о том, как об этом расходе данные снимать с датчика и по какому принципу он может работать ?

И какие газы он может воспринимать ?

 

Посмотрите здесь http://www.massflow.ru/info/techinfo/misc/thermal_MFM.html

 

Похоже на то - сеточка - разделитель, а под залитым герметиком набалдашником вполне может быть тонки стеклянный капиляр с нагревателем и 2 теморезисторами, но вот как все это хозяйство выведено на 3 вывода.

Вывод 4 не используется (соединен с корпусом) с вывода 3 на вывод 1 и 2 одинаковое сопротивление по 40 Ом. Между 1 и 2 - 80 Получается - датчик либо использует газ аперед известной температуры, либо метод измерения какой-то другой.

Может используется явление самонагрева датчика - тоесть измеряется - до какой фактической температуры нагреется датчик при заданном токе через него ?

 

Wladimir_TS: И какие газы он может воспринимать ?
А Вам для чего эта штука?

 

Пока не придумал

 

может там просто турбинка стоит